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TEAC稱重傳感器用于半導(dǎo)體/FPD制造工藝的產(chǎn)品介紹
多晶在石英坩堝中熔化，并在旋轉(zhuǎn)籽晶棒的同時(shí)進(jìn)行拉晶，
以形成單晶棒（使用 CZ 法拉晶錠）。
單晶生長稱重傳感器
能夠測(cè)量微小負(fù)載的兩級(jí)式
抗噪音及過載保護(hù)功能
單晶生長稱重傳感器
過載保護(hù)
用于拉制大直徑硅片
超高精度
用于拉制大直徑硅片
高精準(zhǔn)度
晶圓是通過使用金剛石刀片將錠切割至定厚度而制成的。
標(biāo)準(zhǔn)型
各種保持功能
CC-Link
多功能型
支持 2 個(gè)輸入：稱重傳感器 + 位移
以太網(wǎng)/IP
內(nèi)置型
豐富的網(wǎng)絡(luò)
（EtherNet/IP?CC-Link?RS-485）
通過PC設(shè)置/監(jiān)控
研磨并拋光晶圓表面。
薄型氣密結(jié)構(gòu)、緊湊、輕量、
連接器式
薄型、剪切型、中心孔型
抗偏心/抗疲勞
標(biāo)準(zhǔn)型
各種保持功能
CC-Link
多功能型
支持 2 個(gè)輸入：稱重傳感器 + 位移
以太網(wǎng)/IP
晶圓的表面經(jīng)過研磨和拋光，以平整任何不平整的地方。
采用耐彎曲的機(jī)器人電纜
通過使用濺射儀
實(shí)現(xiàn)高響應(yīng)和高穩(wěn)定性。
標(biāo)準(zhǔn)型
各種保持功能
CC-Link
多功能型
支持 2 個(gè)輸入：稱重傳感器 + 位移
以太網(wǎng)/IP
內(nèi)置型
豐富的網(wǎng)絡(luò)
（EtherNet/IP?CC-Link?RS-485）
通過PC設(shè)置/監(jiān)控
